Besuchen Sie uns auf der OPTATEC 2026
Transmissionsgitter und Spektrometer für Photonik, Halbleiter und industrielle Sensorik
Auf der OPTATEC 2026 zeigen wir, wie unsere UV-VIS-, NIR- und Raman-Spektrometer die Photonik-, Halbleiter- und industrielle Sensorik-Branche unterstützen. Basierend auf den weltweit effizientesten Transmissionsgittern liefern unsere Spektrometer eine stabile, wiederholbare Leistung und einen nahtlosen Instrument-zu-Instrument-Transfer. Von der Dünnschichtcharakterisierung über die Endpunkterkennung bis hin zur Echtzeit-Prozesskontrolle bieten wir die spektralen Werkzeuge, die moderne optische und Fertigungssysteme präzise am Laufen halten.
Was Sie erwartet:
Ausstellungs-Highlights
OEM Spektrometer für die Halbleiter-Großserienfertigung
Präzision trifft Leistung bei unseren OEM Spektrometern, die für die anspruchsvolle Halbleiterfertigung entwickelt wurden. Diese Spektrometer wurden für eine außergewöhnliche Konsistenz in der Großserienproduktion konzipiert und bieten maßgeschneiderte Wellenlängenbereiche von 190 nm bis 2100 nm, die eine Vielzahl von Mess- und Prozesskontrollwerkzeugen unterstützen, die für die Halbleiter-Großserienfertigung unerlässlich sind.
Sie können aus einer umfassenden Auswahl an Wellenlängenoptionen und Plattformen wählen, darunter:
- Die hochempfindlichen EAGLE- und ROCK-Spektrometer, ideal für Raman- und NIR-Anwendungen
- Die Breitband-FREEDOM-Spektrometer, optimiert für UV und UV-VIS
- Das ultrakompakte PEBBLE-Spektrometer, konzipiert für Umgebungen mit begrenztem Platzangebot
Jedes Modell ist so konzipiert, dass es perfekt auf Ihre spezifischen Anwendungsanforderungen abgestimmt ist und sowohl Präzision als auch Leistung gewährleistet.
Kompakte UV-VIS Spektrometer für die Endpunkterkennung mittels Spektroskopie
Da Halbleiterprozesse immer komplexer werden, ist die Fähigkeit, genau zu wissen, wann ein Prozessschritt abgeschlossen ist, wichtiger denn je. Die Endpunkterkennung (EPD) nutzt die optische Echtzeitüberwachung der spektralen Emission aus dem Plasma, um das Ätzen oder Abscheiden genau im richtigen Moment zu stoppen.
In Kombination mit hoher Auflösung, robuster Umgebungsstabilität und kompakten, integrationsfreundlichen Designs helfen unsere Spektrometer Werkzeugherstellern, Genauigkeit und Wiederholbarkeit auf ein neues Niveau zu heben.
Wir unterstützen Gerätehersteller mit leistungsstarken OEM Spektrometern, die speziell für anspruchsvolle EPD-Anwendungen entwickelt wurden. Unsere Transmissionsgitter aus Quarzglas bieten die weltweit höchste Beugungseffizienz, was die hohe Empfindlichkeit ermöglicht, die zur Detektion subtiler spektraler Veränderungen während des Plasmaätzens oder der Abscheidung erforderlich ist.
Wird auf der OPTATEC 2026 vorgestellt!
NIR- und UV-VIS-Spektrometer, optimiert für die Dünnschichtcharakterisierung
In der Großserienfertigung zählt jede Sekunde, daher hat sich die zerstörungsfreie optische Messtechnik zu einem so leistungsstarken Werkzeug entwickelt. Anstatt sich auf langsamere, zerstörende Techniken zu verlassen, ermöglicht die optische Spektroskopie die Überwachung von Dünnschichtdicken und Brechungsindizes in Echtzeit.
Moderne Halbleiterfabriken benötigen optische Systeme, die Folgendes bieten:
- Breite spektrale Abdeckung (typischerweise 190–2100 nm)
- Hohe Spektrale Auflösung bis zu wenigen Nanometern
- Scanraten von über 100 Spektren pro Sekunde zur Unterstützung eines hohen Durchsatzes
Wir entwickeln kompakte, leistungsstarke UV-VIS- und NIR-Spektrometer, die auf die Halbleitermesstechnik zugeschnitten sind und Geräteherstellern helfen, die Geschwindigkeit, Stabilität und Genauigkeit zu erreichen, die ihre Prozesse erfordern. Die geringe Baugröße, die Hochgeschwindigkeitserfassung und die industrielle Stabilität unserer Spektrometer ermöglichen einen zuverlässigen Betrieb selbst in anspruchsvollen Umgebungen.
Wird auf der OPTATEC 2026 vorgestellt!
Raman-, UV-VIS- und NIR-Spektrometer für die Nasschemie-Prozesskontrolle
In der Halbleiterfertigung ist eine enge Kontrolle nasschemischer Bäder unerlässlich, und die optische Spektroskopie bietet schnelle, zerstörungsfreie Einblicke.
Allerdings zeichnen sich UV-VIS, NIR und Raman jeweils für unterschiedliche Anwendungsfälle aus.
- UV‑VIS eignet sich hervorragend zur Überwachung von Konzentration, Badalterung und organischen Verunreinigungen. Es ist besonders effektiv für Moleküle mit starker elektronischer Absorption.
- NIR ist ideal für Mehrkomponentenmischungen und subtile Zusammensetzungsänderungen. Seine Empfindlichkeit gegenüber molekularen Obertönen macht es nützlich für viele organische Substanzen und Lösungsmittel.
- Raman liefert klare molekulare Fingerabdrücke zur Identifizierung von Verunreinigungen oder unerwarteten Spezies. Es zeichnet sich bei Molekülen aus, die ausgeprägte Schwingungsmoden aufweisen.
Wir unterstützen alle drei Techniken mit kompakten, robusten OEM Spektrometern, die für industrielle Umgebungen gebaut wurden und eine stabile, konsistente Leistung sowie eine einfache Übertragbarkeit zwischen Instrumenten bieten.
Für die Raman-Spektroskopie bieten wir Konfigurationen an, die für 532 nm, 785 nm und 830 nm Laseranregung geeignet sind, unterstützt durch mehrere gekühlte Detektoroptionen, um den Anforderungen verschiedener Anwendungen gerecht zu werden. Unsere Raman-Spektrometer sind aufgrund der Verwendung von Transmissionsgittern mit nahezu 100% Beugungseffizienz außergewöhnlich empfindlich.
Wird auf der OPTATEC 2026 vorgestellt!
Was unsere Kunden sagen
OEM-Lösungen von Ibsen Photonics
Die Mission von Ibsen ist es, ein erweiterter F&E- und Fertigungsarm für führende Industrieunternehmen zu sein, der ihr Wachstum in bestehenden und neuen Märkten durch die Bereitstellung von erstklassigen <span wg-1="">Transmissionsgittern</span> und kundenspezifischen OEM-Spektrometermodulen beschleunigt.
Wir sind darauf spezialisiert, führende Beugungseffizienzen, optischen Durchsatz, Robustheit und geringe Unit-to-Unit-Variation in kompakten und kosteneffektiven Formfaktoren zu erreichen, die eine nahtlose Integration in die Systeme unserer Kunden ermöglichen.
Mit mehr als 300.000 Transmissionsgittern und 60.000 Spektrometern, die im Einsatz sind, und durchschnittlich weniger als drei (3) Feldrückläufern pro Jahr wissen wir, was es braucht, um ein bevorzugter Lieferant für führende Industrieunternehmen zu sein.
Vorteile der Zusammenarbeit mit Ibsen:
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