Phasenmasken

Phasenmasken

Warum Ibsen Photonics für Phasenmasken

Ibsen ist Ihr zuverlässiger und stabiler Lieferant von Phasenmasken höchster Qualität, untermauert durch über 30 Jahre Produkt- und Marktkompetenz.

Das Herzstück unserer Phasenmasken-Fertigung ist die holographische/interferometrische Strukturierungstechnologie von Ibsen, die weltweit für ihre unübertroffene Gitterperiode und Chirp-Präzision bekannt ist. Für anspruchsvollere Strukturierungsanforderungen setzen wir auch lithographische Strukturierungstechnologien ein.

In Kombination mit hochpräzisen RIE-Ätzprozessen, dem reinsten verfügbaren Siliziumdioxidmaterial und präziser Messtechnik, bieten Ibsen Phasenmasken die effektivste Lösung für die Herstellung Ihrer Transmissionsgitter – ob in Fasern, Wellenleitern oder anderen Oberflächen.

Ibsen Photonics macht den Unterschied:

  • Höchste Qualität

  • Kurze und zuverlässige Lieferzeiten

  • Erweiterte Funktionsfähigkeiten

  • Engagierter Kundensupport

Vorteile der Verwendung von Ibsen Photonics für Phasenmasken

Unsere Technologie bietet folgende Vorteile:

  • Holographisch/interferometrisch strukturiert, RIE-geätzt

  • 100% Reinraumproduktion der Klasse 10

  • 0,01 nm Periodengenauigkeit und -gleichmäßigkeit

  • Gleichmäßige Periode oder mit kontinuierlichem, linearem Chirp.

  • Erweiterte Funktionen wie Multiperioden-Phasenmasken, Phasenverschiebungen und 2D-Transmissionsgitter sind möglich

  • Gitterperioden bis zu 260 nm

  • +1/-1 und 0/-1 Ordnungsprinzipien

  • Umfassende Metrologie (Gitterperiode, Beugungseffizienz, Reinheit)

  • Klare Identifizierung auf der Maske

Ibsen Photonics Quarzglas Transmissionsgitter

Produkt-Übersicht

+1/-1 Ordnung Phasenmaske

+1/-1 Ordnung Phasenmasken

Ibsen bietet +1/-1-Ordnungs-Phasenmasken, die oft auch als FBG-Phasenmasken bekannt sind, zur Replikation von Bragg-Gitterstrukturen in Fasern (FBGs) und Wellenleitern an. Holographische Produktionstechniken liefern Phasenmasken, die von Natur aus frei von Stitching-Fehlern sind und optional einen kontinuierlichen, linearen Chirp bieten. Die Periodengenauigkeit und -gleichmäßigkeit ist besser als 0,01 nm. Phasenmasken werden kundenspezifisch hergestellt, wobei die 0. Ordnung für die erforderliche Beleuchtungswellenlänge und Polarisation unterdrückt wird. Jede Phasenmaske hat identifizierende Parameter, die individuell auf dem Phasenmaskensubstrat angegeben sind.

0/-1 Ordnung Phasenmasken

0/-1 Ordnung Phasenmasken

Ibsen bietet 0/-1-Ordnungs-Phasenmasken, auch bekannt als NFH-Phasenmasken, die sich ideal zum Schreiben von Gitterperioden eignen, die in der Regel weniger als das Doppelte der Beleuchtungswellenlänge betragen, wobei die 0. Ordnung einer +1/-1-Ordnungs-Phasenmaske nicht gut unterdrückt werden kann. Für die Wafer-basierte Gitterproduktion ist die Nearfield Holography (NFH)-Technik in einer Produktionsumgebung ideal, da sie einen Mask-Aligner-Ansatz verwendet. Ein speziell für die Technologie modifizierter Mask-Aligner ist kommerziell von Suss MicroTec erhältlich. Ibsen bietet 0/-1-Ordnungs-Phasenmasken mit Perioden bis zu 260 nm an.

Vorreinigung_300

Phasenmasken-Reinigungsservices

Phasenmasken können während des Gebrauchs verunreinigt werden – ein effektiver Reinigungsprozess ist wichtig, um eine möglichst lange Lebensdauer der Phasenmaske zu gewährleisten. Ibsen bietet Reinigungsdienste für Ihre Phasenmasken an, optional mit einer umfassenden Bewertung des Phasenmasken-Defektlevels vor und nach der Reinigung.

Welche Phasenmaske soll verwendet werden?

Für weitere Informationen oder zur Anforderung eines Angebots kontaktieren Sie uns bitte.

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